半導体ファブフロアでは、ペースが緩むことはありません。ウエハのダイシング後、UVテープのバックがクリーンに剥がれる必要があります。ためらいも残留物もあってはなりません。遅延や不完全なデボンディングがあれば、廃棄されたウエハと、単にアイドル状態にあるピックアンドプレースラインを見つめることになります。
技術的に重要なこと 私たちは、Quartz UVC T5殺菌灯を一つのことに基づいて設計しました。それは、スペクトルの厳密さです。254 nmの出力をしっかりと確保し、UV感受性フィルムのポリマー結合を破壊するために必要なものです。石英のエンベロープは、その波長で高い透過率を提供し、T5のフォームファクターはアークを小さなスペースに収め、高いピーク照射量を密閉光学系で得られます。出力はランプの寿命を通じて一貫しており、スペクトルのドリフトは最小限です。私たちは、光重合開始剤の活性化と架橋が予測可能に発生するよう、強度を安定させています。 この用途での効果の理由 ウエハのデボンディングにおいては、速度は光子密度から生まれ、熱からではありません。ランプは瞬時に点灯するため、ウォームアップの待機時間はありません。テープの層を深く貫通し、接着剤の界面で完全なフィルムの劣化を促進します。熱ショックを敏感な構造に与えることなく、迅速かつ制御された剥離が実現します。滞留時間は短縮され、不完全なリリースからの拒否が減少し、スループットは向上します。消費エネルギーは少なく、オゾンフリーの設計はチャンバーの化学状態を安定させます。 注目すべき点 インストールは、反射器の整列と線量のキャリブレーションに依存します。ランプをフィクスチャの反射器の形状に合わせて、テープに適切な照射量が当たるようにし、作業面でスペクトル放射計を使って強度を確認します。出力は表面温度や風流に敏感であるため、メーカーの運転範囲内に留まるようにしてください。交換間隔は時間と測定した強度によって設定し、カレンダーの時間ではなく、線量が再現可能なようにします。