על גבי השבב, מסכה לחיבור החוטים שאינה ממוקמת כראוי או שלא יבשה כראוי, לא רק שמפריעה למראה הכללי של השבב – היא עלולה גם לגרום לקצר בחוטים בעלי עובי של 100 מיקרומטר. אין די בחשיפה לקרינת UV בלבד; יש צורך בספקטרום מתאים, שיופנה למקום הנכון. לכן פיתחנו את הנורה שלנו כך שתתאים לתנאי החשיפה של שבבים.
מה חשוב באמת? אנו משתמשים בקרינה באורך גל של 365 ננומטר, עם רוחב ספקטרלי צר, שתואם את רמת הספיגה של חומרי החיבור במסכות. עוצמת הקרינה נשארת מעל 1,200 מיליוואט לסמ”ר במרחק הנדרש לחשיפה, כך שמתקבל פלוקס של פוטונים שמאפשר חיבור מהיר של החוטים. הפלט נשאר יציב בזכות צינורות הקרינה בעלי ירידה נמוכה בעוצמת הקרינה – יחידות שלנו פועלות כבר יותר מ-5,000 שעות, עם ירידה של פחות מ-5% בעוצמת הקרינה. המחזיר משתמש בציפוי דיכרואי כדי לחסום את הקרינה באורך גל אינפרא-אדום ולשמור על עקביות בספקטרום, כך שצפיפות האנרגיה על גבי השבב נשארת קבועה.
למה זה חשוב במקרים של חוטים דקים? כאשר החוטים דקים כל כך, אין מקום לחיבור חלקי בין החוטים. הקרינה באורך גל 365 ננומטר מאפשרת חדירה עמוקה יותר, עם חום פנימי נמוך יותר, כך שמתקבל חיבור מלא ללא לחץ תרמי או חיבור לא אידאלי של החוטים. התוצאה היא תפוקה גבוהה יותר בשבבים מסוג HDI ושבבים קשיחים-גמישים, גימור פנים אחיד, ופחות צורך בעבודות תיקון. ניתן לבצע תהליכי חיבור מהירים יותר, מבלי לפגוע בעומק החיבור. ומכיוון שפלט הנורה נשאר יציב, ההגדרות של תהליך החיבור לא משתנות לאורך זמן.
כמה פרטים חשובים לצוות העבודה יש להתאים את עוצמת הנורה ואת אורך הקרינה למערכת החשיפה ולעדשות שלה. אם המערכת לא מתאימה, יהיה צורך להאט את קצב העבודה כדי להשיג את רמת החשיפה הנדרשת. יש להימנע משימוש באוזון בתהליך העיצוב, ויש לוודא שהמכסה וזרימת האוויר מתאימים לתכונות התרמיות של הנורה, כדי למנוע אזורים חמים. כמו כן, יש לוודא שהנורה תואמת את המדידים שלכם – חיבור איכותי תלוי במדידות מדויקות.